תחריט רטוב הוא תהליך הסרת חומר המשתמש ב-כימיקלים נוזליים או תחריטים כדי להסיר חומרים מוואפר. הדפוסים הספציפיים מוגדרים על ידי מסכות פוטו-רזיסט על הוופל. חומרים שאינם מוגנים על ידי מסכה זו נחרטים על ידי כימיקלים נוזליים.
באיזה חומר הוראה הוסר על ידי?
הסבר: Etching מתייחס להסרה של חומר ממשטח הוופל. התהליך משולב בדרך כלל עם ליטוגרפיה על מנת לבחור אזורים ספציפיים על גבי הפרוסה מהם יש להסיר חומר.
האם תחריט מסיר חומר?
תחריט כימי היא שיטת חריטה המשתמשת בתרסיס כימי בלחץ גבוה בטמפרטורה גבוהה כדי להסיר חומר ליצירת תמונה חרוטה קבועה במתכת. מסכה או רזיסט מורחים על פני החומר והוסרו באופן סלקטיבי, תוך חשיפת המתכת, ליצירת התמונה הרצויה.
מהם שלבי תחריט רטוב?
תהליך תחריט רטוב בסיסי עשוי להתפרק לשלושה (3) שלבים בסיסיים: 1) דיפוזיה של התחריט אל פני השטח לצורך הסרה; 2) תגובה בין התחריט לחומר המוסר; ו-3) דיפוזיה של תוצרי הלוואי של התגובה מהמשטח שהגיב.
מה משמש להסרת חומר בתחריט יבש?
תחריט יבש מתייחס להסרה של חומר, בדרך כלל דפוס מסכה של חומר מוליכים למחצה, על ידי חשיפת theחומר להפצצת יונים (בדרך כלל פלזמה של גזים תגובתיים כגון פחמן פלואור, חמצן, כלור, בורון טריכלוריד; לפעמים בתוספת חנקן, ארגון, הליום וגזים אחרים) ש …
